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在一個(gè)泵中，兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子（1）在單個(gè)殼體中非接觸旋轉(zhuǎn)（圖4.9）該轉(zhuǎn)子具有8字形結(jié)構(gòu)，且相互之間由窄間隙分離開(kāi)來(lái)。有四到六對(duì)轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個(gè)轉(zhuǎn)子腔通過(guò)帶有噴氣口的定子盤與其他轉(zhuǎn)子分離開(kāi)來(lái)。輸送的氣體從入口（3）被抽到出口（4）、一個(gè)軸由電機(jī)（5）驅(qū)動(dòng)。另一軸通過(guò)齒輪箱中的正時(shí)齒輪（6）同步進(jìn)行。潤(rùn)滑于齒輪箱和封裝的低壓和高承（9），其與吸入室（7）通過(guò)軸封（8）密封開(kāi)來(lái)。風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦，羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱分布還產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)平衡，這意味著，盡管其轉(zhuǎn)速很高，泵的運(yùn)行卻極為安靜。。

泵系統(tǒng)包括一個(gè)殼體（1）、一個(gè)偏心地安裝的轉(zhuǎn)子。（2）、在離心力和彈力作用下徑向移動(dòng)的葉片。（3）以及入口和出口。（4）入口閥（如配置）被設(shè)計(jì)為真空安全閥，該閥在操作過(guò)程中始終處于打開(kāi)狀態(tài)。（5）工作室位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩個(gè)獨(dú)立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體流入擴(kuò)大的吸入室直至其被第二個(gè)葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到出口閥沖破大氣壓力而開(kāi)啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開(kāi)時(shí)，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M(jìn)行潤(rùn)滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開(kāi)來(lái)。

表9-22給出了機(jī)組型號(hào)及技術(shù)參數(shù)圖9-27為抽速曲線，圖9-28及圖9-29為外形尺寸。。

來(lái)源：德國(guó)萊寶真空泵德國(guó)普旭真空泵進(jìn)口真空泵真空泵油真空連接件上海振暢機(jī)電科技有限公司新買來(lái)真空泵機(jī)組在使用之前只有引出電纜，安裝的時(shí)候還需要自己另外再接電纜，然而，接電纜的時(shí)候一定要注意方法正確，不然對(duì)真空泵機(jī)組的使用有很大影響，那么，為了更好的為大家服務(wù)，接下來(lái)我們來(lái)為大家講解一下真空泵機(jī)組的接線方式：真空泵機(jī)組在進(jìn)行接線的時(shí)候，要注意必須要用滌綸絕緣膠帶包扎時(shí)一定要壓住圈的一半，包扎8-12層，包好后，再用塑料膠帶包兩層以作強(qiáng)度；關(guān)于真空泵機(jī)組在進(jìn)行接線的時(shí)候，要處于它的電纜銅芯剝出約30—35mm長(zhǎng)，用砂布將銅絲擦干凈，發(fā)亮為宜，同樣將外接三芯電纜的銅絲剝出30—35mm，用砂布擦干凈真空泵機(jī)組的接線，會(huì)把三芯電纜與外接電纜剝出的銅絲部分對(duì)插起來(lái)，然后用一根細(xì)銅絲按圖示樣綁扎緊，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此進(jìn)行接線的時(shí)候，應(yīng)該把真空泵三個(gè)線頭分別用焊錫焊牢，要求焊頭表面光滑，無(wú)毛刺及假焊現(xiàn)象，如果沒(méi)有焊牢或不光滑，應(yīng)對(duì)真空泵重新焊接，直到達(dá)到要求為止。真空泵機(jī)組的接線，必須用塑料膠帶把三跟線包在一起，包扎兩層，層超過(guò)每根導(dǎo)線絕緣層末端50mm以上，第二層超過(guò)層末端50mm；包扎好之后要取一盆涼水將包扎好的線頭安全浸泡在水中，12小時(shí)后，用500V兆歐表測(cè)量絕緣不能低于50兆歐，否則應(yīng)重新包扎直到達(dá)到要求為止。真空泵機(jī)組的接地線也須按潛水電纜接線工藝要求包扎；真空泵機(jī)組的接好線之后應(yīng)該在下井的同時(shí)不斷的搖測(cè)絕緣電阻觀測(cè)其變化以防井壁掛破電纜絕緣皮，若是發(fā)現(xiàn)絕緣程度急速下降到了0.5兆歐以下的時(shí)候必須要把機(jī)組提上來(lái)去檢測(cè)原因。。

用螺栓將泵蓋緊固在泵體上；3、泵裝好后，用手轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)風(fēng)扇，泵必須旋轉(zhuǎn)順暢如泵旋轉(zhuǎn)不順暢或泵旋轉(zhuǎn)過(guò)程中出現(xiàn)摩擦聲，應(yīng)拆開(kāi)泵蓋檢查葉輪間隙情況等，重新調(diào)整。水環(huán)式真空泵振動(dòng)現(xiàn)象該如何處理？一、加裝彈簧隔振器1、真空泵彈簧隔振器樣式的選擇一般選用自立式彈簧減振器，其優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)較低，彈簧裸露在外，便于隨時(shí)觀察彈簧狀態(tài)，對(duì)于需更換的彈簧提前處置，以避免彈簧銹蝕過(guò)度損壞時(shí)，造成真空泵突然沉降造成設(shè)備損害及管路扯斷等現(xiàn)像。2、彈簧的選擇一般減振器廠家選用彈簧需滿足以下要求：彈簧直徑應(yīng)不少于其在額定負(fù)載下高度的0.8倍，彈簧須具備一定的額外行程，渦街流量計(jì)至少等于額定靜撓度的50%，彈簧的水平剛度至少是堅(jiān)直鋼度的99%，以保證減振器的穩(wěn)定性。3、彈簧減振器撓度的選擇通常減振器廠商所提拱的彈簧減振器額定撓度（彈簧額定壓縮量）一般為25MM（自頻率值約3-4HZ），此撓度可應(yīng)于650轉(zhuǎn)每分鐘的真空泵的隔振。當(dāng)轉(zhuǎn)速低于650時(shí)，建議使用40以下?lián)隙戎畯椈筛粽衿?。二、加裝橡膠隔振器橡膠隔振器之選擇：材質(zhì)一般為氯丁膠（C.R），天然膠（N.R），一般選用壓縮型橡膠減振器，對(duì)于重量較輕的真空泵，可選用剪切型橡膠減振器，相較彈簧減振器，橡膠減振器隔振性能相對(duì)相差些。三、加裝隋性基座為滿足更加嚴(yán)格的振動(dòng)制標(biāo)準(zhǔn)，加裝隋性基座時(shí)，配合使用彈簧隔振器，無(wú)疑是的選擇。水環(huán)式真空泵汽蝕現(xiàn)象的消除方法水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間工作，會(huì)造成泵的噪聲、振動(dòng)變大，甚至對(duì)泵造成損壞，因此應(yīng)盡量避免水環(huán)式真空泵在汽蝕狀態(tài)下工作，可通過(guò)以下方法消除。1、降低水的溫度由于真空泵冷卻水溫升高會(huì)導(dǎo)致其抽氣能嚴(yán)重降低，真空泵密封水溫度必須低于排汽壓力對(duì)應(yīng)的飽和溫度，否則就會(huì)使真空惡化，還會(huì)導(dǎo)致真空泵葉輪的汽蝕損壞。因此降低水的溫度達(dá)防止汽蝕的效果。

處理之道：查看空隙是不是過(guò)大，替換新的零部件。

由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸氣流中油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運(yùn)動(dòng)。氣體分子碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣流進(jìn)行多級(jí)壓縮，z*后由前級(jí)真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。。

3、水環(huán)真空泵開(kāi)泵（1）確認(rèn)泵電機(jī)已送電，具備開(kāi)機(jī)條件，聯(lián)系相關(guān)崗位操作員，確認(rèn)泵不轉(zhuǎn)，盤車均勻靈活，打開(kāi)泵入口閥打開(kāi)1/3閥位，啟動(dòng)電動(dòng)機(jī)，啟動(dòng)電機(jī)后立即將泵體注水線上的閥門，密封液閥打開(kāi)，使得泵體與汽水分離器內(nèi)的水達(dá)到平衡狀態(tài)，若出現(xiàn)下列情況立即停泵:異常泄漏，異常振動(dòng)，異常聲音，異味，火花，煙氣，電流持續(xù)不下（2）調(diào)節(jié)泵進(jìn)出口閥，確認(rèn)泵入口真空度在0。08-0。02Mpa之間，出口流量正常，電動(dòng)機(jī)電流在正常范圍內(nèi)，調(diào)整泵流量，聯(lián)系相關(guān)崗位操作員，確認(rèn)泵進(jìn)出口壓力穩(wěn)定。注意:水環(huán)真空泵嚴(yán)禁無(wú)液體空轉(zhuǎn)，以免損壞零件，水環(huán)真空泵啟動(dòng)后，在出口閥未開(kāi)的情況下，嚴(yán)禁長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。3）、啟動(dòng)后確認(rèn)和調(diào)整:確認(rèn)泵流量，壓力正常且穩(wěn)定，確認(rèn)泵的振動(dòng)正常，確認(rèn)軸承箱外部溫度不大于70℃，確認(rèn)無(wú)泄漏，確認(rèn)冷卻水溫度，壓力正常，確認(rèn)電動(dòng)機(jī)的電流正常，確認(rèn)電動(dòng)機(jī)振動(dòng)聲音正常。二、水環(huán)真空泵停泵操作規(guī)程1、停泵通知相關(guān)崗位和班長(zhǎng)，關(guān)閉泵體注水線上的閥門，關(guān)閉密封液閥，停電機(jī)，關(guān)泵出入口閥，確認(rèn)泵出入口閥全關(guān)。2、隔離，排空關(guān)閉泵入口閥，關(guān)閉泵出口閥，關(guān)閉汽水分離器補(bǔ)水閥，確認(rèn)泵出入口閥關(guān)閉。打開(kāi)汽水分離器排空閥，打開(kāi)泵體放空閥，確認(rèn)泵內(nèi)介質(zhì)排干凈。3、交付檢修確認(rèn)泵出入口閥關(guān)閉，確認(rèn)泵已與系統(tǒng)隔離，，確認(rèn)泵已排干凈，排凝閥打開(kāi)放空閥打開(kāi)，確認(rèn)電動(dòng)機(jī)斷電，泵附近準(zhǔn)備好以下設(shè)施:消防蒸汽帶和滅火器。三、水環(huán)真空泵切換泵操作規(guī)程通知相關(guān)崗位和班長(zhǎng)，按照水環(huán)真空泵的開(kāi)泵操作啟動(dòng)備用泵，在打開(kāi)備用泵的進(jìn)口閥同時(shí)，關(guān)小運(yùn)行泵的進(jìn)口閥，保持聯(lián)系與相關(guān)內(nèi)操崗位的聯(lián)系，確保流量與壓力不要有大的波動(dòng)，待運(yùn)行泵進(jìn)口閥關(guān)小到1/3以后，且流量穩(wěn)定后按照水環(huán)真空泵停泵操作，停用運(yùn)行泵，調(diào)解備用泵流量。

即使排氣處的微真空或氣鎮(zhèn)的使用足以置換甚至連續(xù)的氦氣體吞吐量，如在蒸發(fā)器低溫恒溫器中，幾乎與氮或空氣具有相同的性能數(shù)據(jù)在載氣禁止使用的應(yīng)用中（如在閉合環(huán)路應(yīng)用中），泵出口處必須有真空。。

其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流，但不能解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求，4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。近年來(lái)，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開(kāi)發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級(jí)壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級(jí)壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。