通過消除掃描器串擾進行準確的XY掃描
用于樣品和探針的獨立閉環(huán)XY和Z柔性
掃描器整個掃描范圍內(nèi)的線性度誤差小于1nm 精確的高度測量保留真實的樣品表面形貌信息,無需軟件處理.
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Park NX10
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Park NX10 通過消除掃描器串擾進行準確的XY掃描用于樣品和探針的獨立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器整個掃描范圍內(nèi)的線性度誤差小于1nm精確的高度測量保留真實的樣品表面形貌信息,無需軟件處理
通過消除掃描器串擾進行準確的XY掃描
用于樣品和探針的獨立閉環(huán)XY和Z柔性
掃描器整個掃描范圍內(nèi)的線性度誤差小于1nm 精確的高度測量保留真實的樣品表面形貌信息,無需軟件處理.
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