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　?、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進(jìn)氣管道進(jìn)入Ⅱ室。當(dāng)進(jìn)入氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強(qiáng)急增，被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進(jìn)人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出。　　當(dāng)進(jìn)入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經(jīng)通道2進(jìn)入工室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。。

近年來，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

某些腐蝕性氣體可導(dǎo)致水箱內(nèi)水質(zhì)變差，產(chǎn)生氣泡，影響真空度，故應(yīng)注意不斷循環(huán)換水對特殊強(qiáng)腐蝕性氣體，應(yīng)認(rèn)真判斷是否與本設(shè)備所使用材料有反應(yīng)，并謹(jǐn)慎使用。特點(diǎn)1.比其它類型真空泵節(jié)電35%以上。2.特制的流體消聲器，減少水中氣體，使真空度更高更穩(wěn)；減少氣液摩擦，降低噪聲。3.雙抽頭、雙表顯，可單獨(dú)或并聯(lián)使用。4.耐酸、堿、溶劑腐蝕。真空度上不去應(yīng)首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。如屬泵的問題，則檢查進(jìn)水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。循環(huán)水真空泵的電機(jī)不轉(zhuǎn)，應(yīng)檢查電源或保險絲。如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。

動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點(diǎn)：　?、贌o油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　?、诔闅饬看?--雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　?、鄢闅庑矢?--帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動小；　　⑤結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；　　⑥體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；　　　?、卟捎每諝饫鋮s，無需水冷?！　≡摐u旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　?、侔雽?dǎo)體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；　?、诳茖W(xué)儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；　　③機(jī)械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；　?、芑瘜W(xué)工業(yè)；　?、葆t(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。因此在國外市場擴(kuò)展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項(xiàng)不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標(biāo)、特點(diǎn)、基本用途和實(shí)際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個系統(tǒng)的介紹。。

①2XZ型直聯(lián)真空泵抽氣速率與進(jìn)氣口壓力曲線如圖3-32所示②2XZ-B型直聯(lián)真空泵抽氣速率與進(jìn)氣口壓力曲線如圖3-33所示。③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直聯(lián)旋片式真空泵特性曲線如圖3-34所示。。

　　在電機(jī)的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送　　通過動圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運(yùn)行模式?！　∪?、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)　　渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，主要由5個部件組成　　①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)　　渦旋式真空泵的主要運(yùn)動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡單緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點(diǎn)，這是其他類型的干式真空泵所不具備的?！　u旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。真空泵真空泵真空泵的基本特點(diǎn)_真空泵。

無往復(fù)運(yùn)動質(zhì)量還能提供的動態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速設(shè)計轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計為可動（松動）軸承，以實(shí)現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進(jìn)行潤滑。標(biāo)準(zhǔn)版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護(hù)軸，密封環(huán)在保護(hù)套上運(yùn)行，該保護(hù)套在磨損后可更換。如果與外部之間需要進(jìn)行嚴(yán)密密封，泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動。該設(shè)計能提供泄漏率QI小于10-6Pam3s-1。泵性能，加熱由于羅茨泵沒有內(nèi)部壓縮或出口閥，當(dāng)吸入室打開時，其氣體體積回流到吸入室，然后必須對著出口壓力重新排放。由于這種影響，特別是在入口和出口之間存在高壓差的情況下，產(chǎn)生高能量耗散，這導(dǎo)致泵在低氣體流量下顯著變熱，而低氣體流量只能傳送少量的熱。與殼體相比，旋轉(zhuǎn)羅茨活塞相對難以冷卻，因?yàn)樗鼈儗?shí)際上是真空絕緣的。

使用第三級羅茨輔助A1803H型號，可提供緊湊、極其強(qiáng)大的泵站，具有z*大抽速，適合于CVD工藝AD73KH在空運(yùn)行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速4500m3middot，h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個泵可單獨(dú)取出，并在維修工作進(jìn)行的情況下進(jìn)行保養(yǎng)。進(jìn)氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

2、國產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-633、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。。

現(xiàn)在就來說說羅茨泵特點(diǎn)和用途　　一、羅茨泵特點(diǎn)　　在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速，　　對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感，　　轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油，　　振動小，轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥，　　低轉(zhuǎn)速，效率高，體積小，流量大，消耗功率小，自吸能力強(qiáng)，不用引油，使用方便等特點(diǎn)。　　二、羅茨泵用途　　可廣泛用于輸送石油及石油產(chǎn)品（汽油可換銅泵葉）和工廠輸送各種油類和液體。如原油，油漆，潤滑油，玻璃膠，油脂酸，牙膏和淡堿性（肥皂加工）液體等，食品加工可輸送各種液體，如豆醬，醺母，糖稀等。裝卸各種油槽車及油輪等速度快、效率高，使用方便，可以正反轉(zhuǎn)工作。。