1、室溫2、儀器應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi)(室溫20℃±5℃,濕度低于60%),避免光學(xué)零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,影響儀器性能。3、避振如果影像測(cè)量?jī)x受到額外的周?chē)駝?dòng),測(cè)量精度將會(huì)降低。當(dāng)頻率小于10Hz時(shí),周?chē)駝?dòng)的振幅不應(yīng)該超過(guò)2μm(峰-峰差值);當(dāng)頻率在10Hz到50Hz之間時(shí),則加速度不應(yīng)超過(guò)0.4Gal。如果振動(dòng)超過(guò)這些限制,應(yīng)該采用防振措施(例如安裝振動(dòng)阻尼器)4、 無(wú)塵影像測(cè)量?jī)x構(gòu)成組件必須保證無(wú)灰塵。雖然防塵罩對(duì)影像測(cè)量?jī)x有一定的防護(hù)作用,但測(cè)量?jī)x仍應(yīng)定期清潔。
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