1、測量前，先用高純度酒精和混合液或清洗被測表面與平晶工作面。再用紡綢或亞麻布輕揩，然后使平晶邊緣與測量面接觸，逐漸減少平晶傾斜，使整個面接觸，調整平晶與被測表面之間的夾角；直到出現清晰的干涉條紋為止。若出現的干涉條紋較密且不能減少時，說明被測表面上有灰塵或雜物，應再次清洗。
2、被測表面應光潔、無劃痕、碰傷和銹蝕。
3、切勿把平晶壓到被測表面上硬推，以免拉毛平晶工作面。
4、在平晶使用中要求室內溫度穩(wěn)定。由于平晶的傳熱性能差，溫度的不穩(wěn)定會使平晶內部溫度分布不均勻而引起的變形，從而影響其平面度。對于越大的平晶其影響也越來越嚴重。如它的上下表面有溫差時，會產生彎曲變形，中心與邊緣有溫差時，就會變凹或凸。一般當溫度上升時，平面變凹，反之變凸。因此，在測量是平晶與被側表面應等溫一段時間，直至干涉條紋形狀不再變化或變化較少后方能進行測量，否則將由平晶與被側面之間的溫差產生變形而影響測量準確性。為了減少溫差對測量的影響，在高精度測量時，平晶應避免直接用手握持，而用專用夾具或墊以亞麻布等。同時要有若干塊平晶交換使用，以減少手熱的影響。
5、兩平晶的工作面不能相互研合，否則將會損壞平晶工作面。
平面平晶簡稱平晶。它是由光學玻璃研磨而成的具有兩個端面的正圓柱體，用于以光波干涉法測量平面的平面度、直線度、研合性等的計量器具。
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