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一、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備概述

首先我們來說說半導(dǎo)體行業(yè)為什么要用超純水，而且還是18兆歐以上的高純水，主要是因為半導(dǎo)體工業(yè)就是通過在本征半導(dǎo)體（比如純硅）里摻雜質(zhì)來調(diào)節(jié)半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性和其它物理化學(xué)性能的，極微量雜質(zhì)就會劇烈改變半導(dǎo)體材料的性能，所以整個生產(chǎn)過程需要用超純水，以減少雜質(zhì)的引入，但是可能也由于半導(dǎo)體行業(yè)中有個別工藝或產(chǎn)品的不同，導(dǎo)致用水標(biāo)準(zhǔn)不同，從10兆歐到18兆歐，我們綠健水處理公司設(shè)計的超純水設(shè)備主要采用石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟水器、保安過濾器、二級反滲透系統(tǒng)、EDI裝置。對要求水質(zhì)高的企業(yè)，在后端精處理加拋光混床以達(dá)到18.25兆歐的水質(zhì)。

二、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的超純水設(shè)備流程

原水箱→增壓泵→全自動多介質(zhì)過濾器→全自動活性炭過濾器→全自動軟化過濾器→保安過濾器→一級高壓泵→一級RO反滲透主機→一級RO純水箱→二級高壓泵→二級RO反滲透主機→二級RO純水箱→EDI增壓泵→UV殺菌器→0.45um膜濾器→EDI系統(tǒng)→超純水箱→超純水增壓泵→核能拋光混床→TOC脫除器→終濾器→用水點

三、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備構(gòu)成

1、原水箱 超純水設(shè)備原水箱是用來儲存自來水，設(shè)置有浮球開關(guān)，防止無水損壞增壓泵，以及預(yù)處理罐。原水箱一般采用PE水箱，當(dāng)然也可以根據(jù)用戶實際情況選用不銹鋼材質(zhì)。

2、原水泵 　　原水泵是從原水箱內(nèi)把水抽出，供應(yīng)給預(yù)處理，經(jīng)過預(yù)處理過濾在供給反滲透，綠健公司采用的原水泵主要是國產(chǎn)南方泵與丹麥格蘭富水泵，質(zhì)量性能都有保證。

3、全自動石英砂過濾器石英砂過濾器也就是多介質(zhì)過濾器，或稱之為機械過濾器，材質(zhì)可選用玻璃鋼罐、或不銹鋼、碳鋼罐等，濾料填裝石英砂，然后用壓力把自來水或地表水打入罐體內(nèi)，從而去除水中的懸浮物、有機物、膠質(zhì)顆粒、及部分重金屬離子。

5、全自動活性炭過濾器 　　活性炭過濾器的作用主要是去除大分子有機物、余氯。這是因為有機物、余氯易使離子交換樹脂中毒，而余氯、陽離子表面活性劑等不但會使樹脂中毒，還會破壞膜結(jié)構(gòu)，使反滲透膜失效。

6、阻垢劑（或全自動軟化水過濾器） 　　反滲透阻垢劑主要用于超純水設(shè)備反滲透膜，主要防止反滲透膜表面結(jié)垢，從而保護反滲透膜，保持超純水水質(zhì)。工作原理：反滲透阻垢劑溶于水后發(fā)生電離,生成帶負(fù)電性的分子鏈,與Ca2+形成可溶于水的絡(luò)合物或螯合物,從而使無機鹽溶解度增加,起到阻垢作用。其實不管是用阻垢劑還是用樹脂其作用都是防止膜結(jié)垢。

7、保安過濾器 保安過濾器裝置在預(yù)處理后面，反滲透膜前面，有不銹鋼材質(zhì)或塑料材質(zhì)，內(nèi)置精密濾芯，有過濾精度5um的和過濾精度1um的，根據(jù)設(shè)計要求選定。

8、反滲透　　反滲透膜一種模擬生物半透膜制成的具有特性的人工半透膜。一般用高分子材料制成。如醋酸纖維素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜。表面微孔的直徑一般在0.5～10nm之間，透過性的大小與膜本身的化學(xué)結(jié)構(gòu)有關(guān)。有的高分子材料對鹽的排斥性好，而水的透過速度并不好。有的高分子材料化學(xué)結(jié)構(gòu)具有較多親水基團，因而水的透過速度相對較快。因此一種滿意的反滲透膜應(yīng)具有適當(dāng)?shù)臐B透量或脫鹽率。

9、PH調(diào)節(jié)系統(tǒng) PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)是用來調(diào)節(jié)一級反滲透產(chǎn)水的PH值，一般采用氫氧化鈉來調(diào)節(jié)。

10、EDI膜塊 EDI膜塊是一種新型的過濾設(shè)備，它裝置在反滲透后面，經(jīng)過二級反滲透進入EDI膜塊，出水水質(zhì)可以到到17兆，原理：它巧妙的將電滲析和離子交換技術(shù)相結(jié)合，利用兩端電極使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂及選擇性樹脂膜以加速離子移動去除，從而達(dá)到水純化的目的。在EDI除鹽過程中，離子在電場作用下通過離子交換膜被去除。同時，水分子在電場作用下產(chǎn)生氫離子和氫氧根離子，這些離子對離子交換樹脂進行連續(xù)再生，以使離子交換樹脂保持較好的狀態(tài)。

11、UV紫外線殺菌器　　紫外線是一種肉眼看不見的光波，存在于光譜紫射線端的外側(cè)，故稱紫外線。紫外線殺菌器是物質(zhì)運行的一種特殊形式，是一粒粒不連接的粒子流。每一粒波長253.7nm的紫外線光子具有4.9eV的能量。當(dāng)紫外線照射到微生物時，便發(fā)生能量的傳遞和積累，積累結(jié)果造成微生物的滅活，從而達(dá)到滅菌的目的。

12、TOC脫除器 TOC是總有機碳的簡稱。其中的紫外線燈管的作用就是：利用紫外線將水中的碳水化合物的碳打斷，在足夠的照射劑量照射下，絕大部分的有機物被分解成H2O和CO2。其剩下的物質(zhì)就可以被后續(xù)設(shè)備吸附和分解。 13、拋光混床 　　拋光樹脂一般用于超純水處理系統(tǒng)末端，來保證系統(tǒng)出水水質(zhì)能夠維持用水標(biāo)準(zhǔn)。一般出水水質(zhì)都能達(dá)到18兆歐以上，以及對TOC、SIO2都有控制能力。拋光樹脂出廠的離子型態(tài)都是H、OH型，裝填后及可使用無需再生。

四、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的優(yōu)勢

半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備配備雙級反滲透裝置，可確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行，該套超純水設(shè)備采用進口海德能超低壓反滲透，脫鹽率高，使用壽命長，運行穩(wěn)定，能耗低。主要元件采用進口元件，穩(wěn)定性高，操作簡單方便。除此之外設(shè)備配備UV紫外線及膜濾器，可防止細(xì)菌對水質(zhì)的影響。

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