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電容壓力計(jì)XacTorr® 系列

的壓力計(jì)技術(shù)可為您提供持久的測(cè)量精度保障

每種真空室工藝均需要精確的 Torr 水平保障以維持目標(biāo)過(guò)程效率。布魯克斯儀器的電容壓力計(jì)采用行業(yè)的高級(jí)傳感器設(shè)計(jì)，能夠提升測(cè)量可靠性、限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化并且由于布魯克斯電容壓力計(jì)產(chǎn)品均為全數(shù)字化設(shè)備，因此在寬動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)具有的精度。結(jié)果表明布魯克斯電容壓力計(jì)系列產(chǎn)品非?？煽?，適用于各種真空度測(cè)量應(yīng)用。

關(guān)鍵應(yīng)用

超導(dǎo)體制造
薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層
凍干易腐材料
適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）

選擇自身項(xiàng)目要求的電容壓力計(jì)。

限度降低漂移和熱效應(yīng)。限度優(yōu)化真空處理結(jié)果

型號(hào) CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3

使真空依賴型工藝的效率和性能：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數(shù)字式真空電容壓力計(jì)。XacTorr® 系列設(shè)備同時(shí)擁有各種業(yè)內(nèi)的功能技術(shù)，可提升測(cè)量可靠性、限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化。

的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測(cè)量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長(zhǎng)了傳感器壽命并且不會(huì)帶來(lái)傳感器漂移風(fēng)險(xiǎn)。此外，還有快速響應(yīng)傳感器可供選擇，用于提供高級(jí)閉環(huán)控制性能。

結(jié)果：超精確、可重復(fù)并且高效的真空度測(cè)量，可確保每次對(duì)倉(cāng)室壓力進(jìn)行抽真空時(shí)都能夠準(zhǔn)確使其達(dá)到工藝所需的目標(biāo) Torr 值以實(shí)現(xiàn)潔凈、無(wú)污染生產(chǎn)。

特點(diǎn)

適用于 0.10 Torr - 1000 Torr 過(guò)程真空度范圍
有多種精度水平可供選擇
Mark IV 傳感器
數(shù)字化架構(gòu)可實(shí)現(xiàn)超高精確度的寬動(dòng)態(tài)范圍操作
雙區(qū)域溫控功能可提高測(cè)量穩(wěn)定性和可重現(xiàn)性
多段數(shù)字校準(zhǔn)功能可提供高級(jí)窗口顯示已知精度
智能觸控式零點(diǎn)調(diào)節(jié)
可單獨(dú)輕松訪問(wèn)的診斷維護(hù)端口
DeviceNet® 和模擬通信選件

優(yōu)勢(shì)

漂移較低，能夠?yàn)檫^(guò)程氣體沉積提供的保護(hù)
無(wú)需使用手動(dòng)電位計(jì)，不存在電子漂移
快速預(yù)熱、閉閥溫度控制并能夠根據(jù)變化做出快速響應(yīng)
多段校準(zhǔn)功能可提供高級(jí)窗口顯示已知精度以及對(duì)環(huán)境溫度影響的實(shí)時(shí)補(bǔ)償
如果壓力過(guò)高或者未達(dá)到目標(biāo)溫度則無(wú)法調(diào)零
診斷端口允許用戶在設(shè)備運(yùn)行期間提供監(jiān)視和數(shù)據(jù)采集功能，實(shí)現(xiàn)倉(cāng)室和工具匹配以及“實(shí)時(shí)"高級(jí)故障排除

應(yīng)用