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金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器5850EM 系列

純度氣路。超高精確，無污染的控制。

        現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP

• 化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

• 精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

經(jīng)驗(yàn)證長期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用

型號(hào) 5850EM / 5851EM

        5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過程效率，這得益于設(shè)備無需對氣體壓力進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。

特點(diǎn)

• 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%

• 能夠根據(jù)命令變化在 3 秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計(jì)

• 流量范圍寬 - 3 sccm 至高達(dá) 30,000 slpm

• 高壓額定值 - 高達(dá) 1,500 psi

• 可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝 - 5µ 英寸 Ra（平均值）

• 可拆卸式流量傳感器

• 不受安裝角度影響

• 其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容

• TTL 兼容型"閥關(guān)閉"和吹掃功能

優(yōu)勢

• 全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)

• 在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性

• 由于性能可靠，因此投資回報(bào)率出眾

• 采用可拆卸式流量傳感器，因此無需對氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)

• 由于模擬量僅為輸入/輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)

應(yīng)用

• 光端機(jī)

• LED/MOCVD

• 半導(dǎo)體

• 太陽能

型號(hào)

規(guī)格

性能

機(jī)械

等級(jí)

診斷和顯示

電氣

承諾