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TESCOM™ 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器

        12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 （IGS）/VCR® 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度，采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。 進(jìn)口壓力為 150 psig / 10.3 bar，出口壓力為 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可達(dá) 120 SLPM。 非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。

規(guī)格

特點(diǎn)

• 適用于高級 OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品

• 高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 （MFC） 性能

• 適用范圍廣，性能

• 流量：2 SCFM 至 120 SLPM

• 在微型元件中提供的壓降和重復(fù)性

• 閥膜與閥體之間采用金屬對金屬密封，提供的密封性

• 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸

• 符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格

需要咨詢產(chǎn)品價格、貨期、購買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請聯(lián)系我們。客服熱線：