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微型自調(diào)焦激光傳感器適用替代現(xiàn)有傳統(tǒng)的位移和粗糙度測頭。它可以進(jìn)行快速非接觸式表面輪廓和粗糙度測量以及精密位移的測量。
激光測量光束借助于一個物鏡聚焦于物體表面。由于物鏡的位置是被連續(xù)調(diào)整的，因而激光束的焦點(diǎn)總是與物體表面重合。
表面輪廓和局域光的反射是被同時測量的。因而，本組件可測定各種邊緣和各種材料。所有傳感器功能可以借助于儀器上配備的軟件宏進(jìn)行控制。這些宏指令可以裝載于已有的軟件中。
AFS傳感器具有表面復(fù)現(xiàn)高度保真的特點(diǎn)。
作為一個選擇項，傳感器可配備微型照相機(jī)適配器，以便能夠?qū)Ρ砻嫫蔚挠^察直接進(jìn)入鏡頭，使激光光束精密定位。采用特別開發(fā)、高度集成的BMT-IC，傳感器熱漂移極低。采用大數(shù)值孔徑物鏡，儀器無論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。

主要用途：

◆ 具有高保真表面復(fù)現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測量
◆ 精密位移測量
◆ 微機(jī)械零件的尺寸測量
◆ 冶金金相測量
◆ 振動測量
◆ 厚度測量
◆ 直線度, 平面度，弧度的測量

主要特點(diǎn)：
◆ 非接觸式表面輪廓測量、反射性能的測量、垂直和橫向的尺寸測量
◆ 的通過透鏡觀測描繪被測物體表面特征的傳感器
◆ 微型化的傳感器
◆ 分辨率1nm
◆ 可達(dá)2000

◆ 連續(xù)聚焦

主要優(yōu)點(diǎn)：
◆ 在高保真輪廓復(fù)現(xiàn)下對3D結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速的非接觸式測量
◆ 測量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無關(guān)
◆ 數(shù)據(jù)采集和評估可歸并到已有的軟件中
◆ 具有可組裝性，可組裝到已有的系統(tǒng)中

技術(shù)數(shù)據(jù)：

型號	AFS 1 傳感器	AFS 2傳感器	TFS傳感器
測量范圍祄	± 500 / ± 50	± 1000 / ± 100	± 500 / ± 50
垂直分辨率 nm	1	1
工作距離 mm	2	2	13
激光班直徑(約)µm	0.5	0.5	1
測量頻率* kHz	20	20	20
視場傾角** °	20	20	15
激光波長 nm	635	635	635
激光等級	1	1	1
外形尺寸 mm	52 x 25 x 58	52 x 25 x 58	52 x 25 x 58
重量(約)g	100	100	100