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美國NANOVEA公司的三維非接觸式光學輪廓儀
三維非接觸輪廓儀(3D Profiling)

該儀器采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案

這款產(chǎn)品憑借其當今前端的技術,迅速占領國內(nèi)外市場,
產(chǎn)品特性：
1 采用白光軸向色像差技術，可獲得納米級的分辨率
2 測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
3 測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
4 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受樣品反射率的影響
6 不受環(huán)境光的影響
7 測量簡單，樣品無需特殊處理
8 Z方向測量范圍為27mm

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